洁净室气流组织设计原则

洁净室气流组织的主要任务,是供给足量的清洁空气,稀释并替换室内所产生的污染物质,使室内洁净度保持在允许范围之内。 洁净室气流组织设计应遵循以下一般原则: 1)要求送入洁净室的洁净气流扩散速度快、气流分布均匀,尽快稀释室内含有污染源所散发的污染物质的空气,维持生产环境所要求的洁净度。 2)使散发…

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洁净室为什么要控制压差

洁净室的压差就是洁净室与周围空间所必须维持的静压差。洁净室与邻室维持正的静压差(简称正压)是较为常见的情况,实际工程中的工业洁净室和一般生物洁净室都是维持正压。 但对于使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂或有高粉尘操作的洁净室,生产致敏性药物、高活性药物的生物洁净室以及其他有特殊要求的洁净室需要…

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如何确定洁净室新风风量和送排风风量

洁净室新风量对于补充排风系统所需、保证室内空气质量、‌维护作业人员健康、‌确保生产安全等方面具有不可替代的作用。 洁净室新风量计算 满足卫生标准的新风量 满足卫生标准的新风量分两种情况: 1)对于室内无明显有害气体发生的一般情况,根据GB50073-2013《洁净厂房设计规范》规定,保证供给洁净室内的新…

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风速风量检测在洁净室中的重要意义

洁净室及相关受控环境的风速检测都是重要和必须的。只有准确测定风速、风速均匀性、送风量等气流参数,才能依据这些数据判断洁净室及相关受控环境的空调净化系统是否具备维持所要求的洁净度、温度、湿度等技术参数的基本能力。 风量风速检测必须首先进行,净化空调各项效果必须是在设计的风量风速条件下获得。 ①乱…

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电子半导体行业如何做好气态污染物(A

气态分子污染物(AMC)已经成为影响半导体产品质量的重要因素,主要表现为表面分子污染,这是由气态分子和特定表面作用而形成非常薄的化学膜,化学膜通常改变产品表面的物理、电子、化学和光学特性而导致质量缺陷,造成产品良品率下降。 AMC种类复杂,根据SEMI发布的标准中将AMC分为四类:1.酸性分子污染物:如HF、SO2、C…

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